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구연산 도금욕에서 트렌치내의 구리의 전착
Electrodeposition of copper into trenches from a citrate plating bath

등록 : 2013.05.29 ⋅ 26회 인용

출처 : Elec. Acta, 56권 2011호, 영어 6 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.14
구연산염 용액에서 구리의 전착은 도금욕의 pH 함수로 조사 되었으며 500 nm 트렌치의 충전에 적용되었다. 구연산 수용액에서 구리도금을 사용하여 서로 다른 우세한 구연산 구리복합체를 가진 4 개의 도금조를 선택했으며, 이는 UV-vis 분광광도법을 사용하여 확증되었다. 도금조의 전기화학적 특성은 도금 동역학을 트렌치...

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