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습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 검색(로그인 필요)은 아래 내용을 참조하여 주시기 바랍니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 /...
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산성 황산구리 전해액에서 전석된 구리막의 결정배향성에 있어서 아세트니트릴의 효과
아세트니트릴을 함유한 전해액을 이용하여 만든 구리석출막의 결정배향에 관하여 조사하고, 결정배향성에 영향을 주는 인자에 관하여 검토.
구리/합금
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표면기술 · 58권 8호 2007년 · Toshiaki ONO ·
Yasuo KOMODA
외 ..
참조 5회
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무전해 구리 도금에 의한 상향식 충진을 검토하기 시작한 것은 2002년경이다. 당시에는 전해 구리 도금 기술이 큰 각광을 받고 있어, 무전해 구리 도금에 의한 배선 홈에의 충진 형상 제어 기술은 아직 별로 검토되고 있지 않았다. 유일한 예는 코넬 대학의 Lopatain 에 의한 것으로, 그들은 계면활성제...
구리/Cu
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표면기술 · 58권 8호 2007년 · Shoso SHINGUBARA ·
Zengling WANG
참조 10회
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무전해 도금에 의한 ULSI의 서브미크론 구리 비아홀의 상향식 충진
미세 비아홀에서 구리의 상향 도금에 비스 -3-설포프로필 디설파이드 (SPS) 를 첨가한 무전해구리도금을 보고하였다. 도금욕의 SPS 농도를 도금시간 10 분으로 0.05~0.5 mg/L 로 변화시켰을 때, 홀바닥의 Cu 두표면 (Tb) 와 (Ts) 의 비율, 상향식 비율이라고 하며 1.0 mm 구멍의 경우 1.05 에서...
구리/Cu
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Electrochemical Society · 151권 12호 2004년 · Zenglin Wang ·
Osamu Yaegashi
참조 17회
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구리전기 도금의 상향식 충진에 있어서 트리블록 공중합체 EPE-8000 첨가제의 효과
구리도금에 의한 마이크로비아 충진에 대한 트라이블록 공중합체 EPE 의 효과를 광학현미경을 사용한 단면 이미지로 조사되었다. 전기도금액의 상향식 충전은 EPE 를 추가하여 이루어졌다. 전기화학적 연구결과 EPE 를 추가하면 음극의 분극이 증가하는 것으로 나타났다. 또한, X-선회절 분석은 EPE...
구리/합금
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Electrochem. Sci. · 9권 2014년 · Qiuxian Shen ·
Xu Wang
외 ..
참조 8회
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