로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 10826건

습식도금 자료분류

자료수 10827 건

추천글

Tag LIST

용액 교반이 미세 패턴 내 무전해구리 도금에 미치는 영향
The effect if sulution agitation on the electroless Cu deposition within nano-patterns

등록 : 2008.10.30 ⋅ 54회 인용

출처 : 한국표면공학회지, 41권 1호 2008년, 한글 5 페이지

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.09
무전해구리도금공정을 사용하여 130~60 nm급의 trench 패턴내에 균일한 구리배선 도금을 수행하는데 있어서, 무전해도금과정에 용액내 구리이온의 물질전달 방식, 즉 용액의 교반속도가 무전해도금의 표면특성과 Trench내 충진 특성에 미치는 영향을 조사

연관글

  1. 연구문헌자료.. 무전해 구리 도금 공정에서 발생하는 산업 폐수에서 킬레이트화된 구리 이온 제거를 위한 삼티오탄산나트륨의 사용
  2. 연구문헌자료.. 섬유 동도금방법
  3. 도금기술노트.. THEED
  4. 연구문헌자료.. 알칼리 프리 무전해 구리 도금에 있어서 결정 방향에 대한 계면활성제 첨가 효과
  5. 연구문헌자료.. 인쇄회로기판용 홀 금속화 기술 연구 진행
  6. 연구문헌자료.. 무전해 도금의 동역학: 구리-디메틸아민 보란 시스템
  7. 도금기술노트.. 메탄설폰산구리무전해욕
  8. 연구문헌자료.. Al2O3와 그 열처리 거동에 대한 구리의 무전해 도금
  9. 연구문헌자료.. 친환경 무전해욕에서 아진 유도체를 사용에 의한 구리 석출의 표면 형태
  10. 도금기술노트.. 포르말린프리무전해구리