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다마신 구리도금에 대한 첨가제의 화학
The chemistry of additives on damascene copper plating

등록 2008.08.22 ⋅ 85회 인용

출처 IBM J. RES. & DEV., 49권 1호 2005년, 영어 16 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.12.05
집적회로 인터커넥트를 형성하는데 사용되는 구리도금조는 일반적으로 다마신 도금중에 비아홀과 트렌치라인의 수퍼필링을 용이하게 하는 3개 또는 4개의 성분첨가 혼합물을 포함 한다. 첨가제는 표면에 구리종의 존재를 조절한다. 레벨러와 억제제는 구리 Cu+ 형성을 억제하는 반면, 가속화 첨가제는 Cu+ ...
  • 전극반응을 해명하는 방법의 한 수단으로 전류-전위곡선(분극곡선)을 측정하여 이로부터 반응메카니즘을 추정하는 방법이 있으나, 일반적인 금속이온의 경우는 대체로 이 곡...
  • HyPro™ Coat 330 is an organo-mineral finish designed to protect passivated zinc components from severe environments, such as the engine compartments and exterior...
  • Al을 전기부품으로사용할때의 고저항피막과 저저항피막에 관하여 설명
  • 기능성 크롬도금으로도 알려진 경질크롬 전기도금은 상당히 무거운 도금으로 적용된 크롬도금이다. 이 공정은 일반적으로 0.1 mil (0.001 인치; 2.5 마이크로 미터) 초과 및...
  • 주석-아연 중성 글루콘산 용액의 개발 연구, 다양한 양극재료의 성능, 첨가제의 효과, 수소 감소 거동 및 이러한 도금의 내식성에 대한 연구가 이전에 보고되었다.