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황산구리 도금액중에 있어서 1가 구리의 생성에 영향을 주는 염소 및 PEG의 효과
Effect of Chloride and PEG for Accumulation of Cu(I) in Copper SUlfate Electroplating Solutions

등록 2019.12.31 ⋅ 43회 인용

출처 마이크로일렉트로닉스, 25회 2015년 9월, 일어 4 쪽

분류 연구

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저자

T. KOGA1) H. NOMA2) K. NONAKA3) Y. SAKATA4) N. TERASAKI 5)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2020.12.07
도금액의 첨가제성분, 특히 염소 Cl 와 폴리에틸렌글리콜 (PEG) 가 1가 구리의 생성 축적에 주는 효과를 밝히고, BCS-Cu(i) 착체 형성에 의한 흡수 반응곡선을 수치 해석하고, 1가 구리가 액중에 축정되는 프로세스에 관하여 검토.

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