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구리 도금액의 여과
Filtration of Copper Plating Solutions

등록 2008.09.24 ⋅ 56회 인용

출처 Millipore, MAL102, 영어 7 쪽

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.02.26
구리는 도금액에서 전착을 통해 웨이퍼 표면에 적용될수 있다. 구리도금 전해질은 일반적으로 황산(10 % -20 %)과 황산구리 (<10 %)로 구성된다. 균일한 도금을 보장하고 도금에 원하는 특성을 부여하기 위해 계면활성제 및 기타 유기분자가 첨가된다. 전해질은 일반적으로 35 ℃ 이하에서 작동한다. 친수성 UPE 필터 (Guardi...
  • 알칼리욕은 시안화물을, 다음 공정의 크로메이트 후처리 액에는 Cr6+ 이온을 사용하고 있으며, 앞으로 발생하는 환경 문제에 대해 최근 개선이 요구되고 있다. 고객은 ...
  • Niplate 600은 중인(P에서 5-9%) 무전해 니켈 도금액 입니다. Niplate 600은 높은 내마모성, 우수한 내부식성 및 저렴한 가격으로 인해 가장 일반적으로 사용되는 Niplate ...
  • CRODA 1000은 특히 20~30°C의 온도에서 탁월한 침투력을 지닌 고효율 광택 크롬 도금 첨가제입니다. CRODA 1000은 소재의 용해가 없어 구리 또는 구리 합금에 직접 광택 크...
  • 유독한 시안을 사용하지 않고 환경조화형 설포호박산욕에서 만든 스펙큘럼(CuSn) 합금도금피막의 색조, 금도금하지로서의 내식성 및 접촉저항에 관하여 검토..
  • 내식성 시험방법으로 옥외폭로 시험방법을 시작으로 염수분무시험, CASS시험 방법, 아황산가스시험 방법 등이 일반화 되어 있다. 이들의 시험방법중, CASS 시험...