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IrO2/Ti 불용성 아노드를 이용한 비아필링용 무전해 구리도금
Acid copper plating for Via Filling Using IrO2/Ti Insoluble Anode

등록 2009.07.24 ⋅ 42회 인용

출처 일렉트로닉스실장학회지, 9권 3호 2006년, 일어 6 쪽

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.11.11
일반적으로 황산 구리도금의 아노드는 가용상의 함인구리를 사용하고 있으나, 가용성으로 크기가 변화하여 품질에 영향을 주고 있다. 또 이 함인구리 아노드를 사용할때 전해에 따라 생성된 불랙필름이 액중의 첨가제성분의 바란스에 영향을주므로, 불용성 아노드를 사용할때의 실용성에 관하여 검토

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