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미소 장치 생산의 니켈-텅스텐 NiW 합금 전착의 전해의 고려 사항
Electrolyte Considerations of Electrodeposited Ni-W Alloys for Microdevice Fabrication

등록 2009.09.05 ⋅ 50회 인용

출처 Materials science, 9권 4호 2003년, 영어 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.14
니켈-텅스텐 Ni-W와 같은 진화하는 부반응은 깊은 미세 매립형 전극에 문제가 될수있다. 딥 리세스 도금에 대한 기존 도금조의 적응성을 제한하는 요인은 유체 역학적 조건의 변화이다. 구연산-암모늄 전해질에서의 Ni-W 전착의 경우, 버퍼링 용량과 펄스도금이 부반응에 수반되는 국소 pH 상승을 회피하는 것으로 간주되었다.

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