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구리 Cu 및 은 Ag 금속 배선을 위한 전기화학적 공정
electrochemcial Metallization process for copper and silver metal interconnection
등록
:
2010.06.14
⋅ 48회 인용
출처
:
화학공학
, 47권 2호 2009년, 한글
분류
:
연구
자료
:
있음(다운로드불가)
저자
:
권오중
1)
조성기
2)
김재정
3)
기타
:
자료
:
분류 :
무전해구리도금
⋅
무전해은도금
⋅
목록
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오늘의 공부
장식용 황산구리도금 광택제
자료요약
카테고리 :
구리/합금
| 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.05
구리배선 형성을 위하여 사용되는 전해도금과 무전해도금에 대하여 연구 동향을 요약하고, 더불어 전해도금과 무전해도금을 통한 은 (Ag) 배선을 정리함
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