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루테늄의 전착
Electrodeposition of Ruthenium

등록 2011.08.02 ⋅ 88회 인용

출처 미국특허, USP 4082622, 영어 3 쪽

분류 특허

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자료요약
카테고리 : 전기도금기타 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.12.04
두께 루테늄 전석방법으로 펄스전류를 사용하고, 금 Au 을 이용한 상층도금 방법으로 낮은 내부응력과 표면크랙이 없는 도금이 가능

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