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포토리소그라피 (2) 에칭기술
Photolithography -etching-

등록 : 2008.09.24 ⋅ 50회 인용

출처 : 표면기술, 46권 9호 1995년, 일본어 5 페이지

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.01.12
포토마스크의 패턴의 가공에 있어서 에칭기술을 소개
  • 시안화물 용액의 전체 대체물로 친환경 아연산염 (징케이트) 전해질을 사용하여 아연을 전착을 시도하였다. 첨가물이 없으면 도금은 회색의 가루처럼 보인다. 따라서 체계적...
  • 무전해 코발트 도금 ^ Electorless Cobalt Alloy Plating 무전해 코발트도금|1| 자성 도금용으로 전자산업의 Memory Disk 와 Storage Device에 사용 30 g/l Cobalt Chloride...
  • 적혈염 ^ Potassium Ferricyanide [페리시안화칼륨]은 IS 화학식 K3〔Fe(CN)6〕 로 표기되며 〔Fe(CN)6〕3- 이온을 함유한다 . 물에 녹고 용액은 녹황색 형광을 보이며, 군...
  • 페놀 수지 · Phenol resin 석탄산 수지 라고도 하며 플라스틱 중에서 가장 역사가 오래된 재료로 유리와 고무 등 각종 충전 재료와 범용으로 사용하는 경우가 많다. 페놀수...
  • 본 발명은 도금된 층에서 도금속도 및 보다 큰 도금 결정크기와 같은 효과를 유지하면서 고농도의 탈륨 또는 납화합물에서 금 Au 을 침전시키지 않는 무전해금 도금액을 제...