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구리전석에 있어서 첨가제에 따른 영향성 연구
Effect of additives on the copper Electrodeposition for ULSI metalization

등록 2008.08.23 ⋅ 41회 인용

출처 NA, NA, 한글 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2014.07.15
전해도금 방법에 의해 구리 박막을 제조하고, 첨가제로써 PEG 및 UREA 등을 사용하고 이에 따른 영향성을 여러 가지 분석장비(AES, XRD, SEM 등)를 이용하여 살펴보는데 그 목적이 있다.

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