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이온질화법에 의한 구리합금의 표면경화
Surface hardening of Cu alloys by plasma nitriding process

등록 2008.08.28 ⋅ 48회 인용

출처 표면기술, 44권 11호 1993년, 일어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 도금자료기타 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2016.03.27
Cu과 같이 질화처리로 경화되지 않는 Ni에 대하여, 적당한 질화물생성원소를 첨가하여, 이온질화법으로 질화처리를하여, 이들 합금이 표면경화되는 것에 착안하여, Cu 합금의 표면경화에 유효한 합금원소의 종류와 그 유효첨가량을 밝히고, 경화기구에 관하여 검토한 실험
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  • 온칩 금속화 ULSI 장치에서 구리전기도금을 사용하는 것은 프로세스의 낮은 비용과 높은 처리량으로 인해 탄력을 얻고 있다. 그러나 μm 이하 크기의 전기도금된 라인과 ...
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  • 산성구리욕조의 광택 및 레벨 구리도금 공정이 설명되어 있다. 하나 이상의 가용성 구리염, 유리 산 및 염화물 이온을 함유하는 것 외에도, 본 발명의 구리도금욕은 광택 화...