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은 나노입자 촉매의 활성과 구연산을 이용한 무전해 구리욕의 안정성
Activation of Ag Nanoparticle Catalysts and Stabilization of Electroless Cu Plating Bath by Sodium Citrate

등록 2012.07.06 ⋅ 62회 인용

출처 표면기술, 61권 10호 2010년, 일어 3쪽

분류 연구

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저자

Takanori SUGAYA1) Yutaka FUJIWARA2) Yasuyuki KOBAYASHI3) Atsushi KOISHIKAWA4) Yasuhiro HOSHIYAMA5) Hidekazu MIYAKE6)

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.08
중성 pH에서 구연산소다 용액을 사용하여 은나노 입자가 흡착된 재료의 후처리로 흡착된 나노 티클을 안정시키고 무전해 구리도금을 위한 촉매활성을 향상시킨다.

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