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구리 전착에 의한 비아 충진에 대한 디알릴아민형 공중합체 첨가제에 있어서 반대 이온의 효과
Effect of Counter Ions in a Diallylamine-type Copolymer Additive on Via-filling by Copper Electrodeposition

등록 : 2014.06.05 ⋅ 22회 인용

출처 : Electrochemistry, 82권 6호 2014년, 영어 8 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Minoru TAKEUCHI1) Yoshihiro ANAMI2) Yasutaka YAMADA3) Masaru BUNYA4) Shoko OKADA5), Naoki OKAMOTO6) Takeyasu SAITO7) Masayuki YOKOI8) Kazuo KONDO9)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.12
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