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무전해 구리 석출에 영향을 미치는 욕 조건 - 평가
Bath Parameters Affecting Electroless Copper Deposition - A review

등록 2014.06.20 ⋅ 31회 인용

출처 IJRS, 3권 4호 2014년, 영어 15 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.03.07
구리의 무전해도금은 높은 선택성, 매우 얇은 시드층의 사용에 우수한 스텝커버리지, 우수한 트렌치 충전용량 및 웨이퍼의 전기적접촉에 대한 필요가 없기 때문에 구리 리트로 도금보다 더 매력적인 공정으로 간주된다.