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구리 다마신 전기도금에 있어서 트렌치 필링 기구의 모의 연구와 전기화학
Electrochemical and Simulative studies of Trench filling mechanism in the Copper damascene electroplating Process

등록 : 2014.08.22 ⋅ 13회 인용

출처 : Materials Tracsaction, 43권 7호 2002년, 한글 6 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Toshi Haba1) Tekryuki Itabashi2) Hauro Akahoshi3) Akihiro Sano4) Kinya Kobayashi5) Hiroshi Miyazaki6)

기타 :

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.07
다마신 공정에서 구리전기도금조에서 첨가제의 역할이 조사되었다. 상향식 충진 모델을 제안하고 실험결과와 시뮬레이션 결과를 비교하여 확인 하였다. 구리표면을 흡수하고 구리침착을 억제하는 Janus Green B 및 Basic Blue 3 는 충진 성능을 향상시키기 위한 첨가제 사용을 조사했다.
  • 시안화 아연도금액 분석 ^ Zinc Cyanide Plating Bath Analysis 아연 도금액 1 ㎖ 를 정확히 취하고 물 100 ㎖ 를 가한다. NH4Cl 1~2 ㎖ 가하고, Conc. NH4OH 약 5 ㎖ 가한...
  • 주석 - 납 합금 도금은 약전 부품 및 전자 산업용 부품의 납땜과 기판의 에칭 레지스트 피막으로 널리 이용되고 있으며, 공업적으로는 광택도금이 실용화 되어있다. 현재 공...
  • 일반적으로 75~80 % Sn 및 20~25 % Zn 범위의 합금도금이 권장되며 주석 Sn 양에 따라 내식성이 증가한다. 아연 Zn의 양이 증가하면 도금의 성질은 Zn 의 성질과 유사하며 ...
  • 메탄올이나 프로판올이 크롬전석에 주는 영향을 조사할 목적으로, 이 용액에 아니온 또는 카티온 계면활성제를 첨가할때 전해조건과 경면광택 크롬의 재현성이 좋은 욕조성,...
  • 이 사양은 엔지니어링 응용분야를 위한 금속제품에 적용되는 전기도금된 니켈도금에 대한 요구사항을 다루었다.