로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 10998건

습식도금 자료분류

자료수 10999 건

추천글

Tag LIST

합성 석영소재 포토마스킹의 습식에칭의 적용
Wet Etching of Synthetic Quartz Substrate for Photomask Application

등록 : 2014.09.10 ⋅ 15회 인용

출처 : 표면기술, 55권 8호 2004년, 일어 6 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

合成石英基板フォトマスクへの湿式エッチングの適用

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.14
글라스 소재를 에칭시 노광광에 위상차를 가진 특수한 레벤손형 위상 시프트 기술중, 웨트 에칭에 의한 패턴 프로필의 형성제어가 불가능하여, 포토에칭을 사용한 첨단 포토 마스크제조의 현황에 관하여 소개하였다.
  • 크롬산 (무수크롬산) ^ 6-Valent Chromium 6가이온을 함유한 크롬으로 강한 산화제로 작용하며, [3가크롬]에 비하여 독성이 강해 유해물질로 지정되어 있다. [크롬산] 참고 ...
  • 경도 · Hardness 경도는 물질의 단단함ㆍ부드러움의 정도를 가르키는 말로 물리적인 확실한 정의는 업지만 재료의 소성변형에 대한 정항의 크리를 말한다. 일반적으로 시료...
  • 메틸렌 클로라이드 및 페놀을 포함하는 화학 페인트 박리는 다양한 소재에서 폴리머 코팅을 제거하는 데 광범위하게 사용되었다. 이전 작업은 염화 메틸렌 기반 페인트 박리...
  • 약 500 ~ 1400 PSI의 확장 내부응력을 갖는 피막을 제공하기 위해 6.5 ~ 9.5 %의 결정된 범위의 니켈을 포함하는 아연니켈합금도금을 철강 스트립에 전착하여 높은 연성...
  • 고시노욕 · Koshino's Bath 상온용 불화물 첨가 [크롬도금]액으로 일본의 고시노 가 만든 도금액을 말한다. 저전류 피복성과 전류효율이 좋으나, 불화물을 함유하여 도금소...