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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 석영기판 1건
합성 석영소재 포토마스킹의 습식에칭의 적용
Wet Etching of Synthetic Quartz Substrate for Photomask Application

등록 2014.09.10 ⋅ 21회 인용

출처 표면기술, 55권 8호 2004년, 일어 6 쪽

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기타

合成石英基板フォトマスクへの湿式エッチングの適用

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.14
글라스 소재를 에칭시 노광광에 위상차를 가진 특수한 레벤손형 위상 시프트 기술중, 웨트 에칭에 의한 패턴 프로필의 형성제어가 불가능하여, 포토에칭을 사용한 첨단 포토 마스크제조의 현황에 관하여 소개하였다.
  • 부식방지 전처리를 전혀 사용하지 않는것, 강제로 멈출 때까지 크롬산염을 계속 사용하는것 또는 경제적으로 허용되는 세가지 대안중 하나인 중금속 인산염, 유기중합체 또...
  • 니켈코발트 합금도금 장식용의 웨이즈버그욕은 코발트가 2~5 %함유된 합금도금으로 위생기 금구류 등에 이용된다. [니켈전주]욕보다는 기계적 성질이 우수하여 금형 등의 전...
  • 황산욕에서 Zn-Ni 합금도금피막의 조성분포에 있어서 계면활성제의 영향을 조사
  • 은 Ag 는 보석류, 중공업, 식기류 등의 장식 및 미학적 매력을위한 도금물로 사용된다. 또한 열, 전기 전도성 및 베어링의 우수한 안티갈링 특성, 소켓 접점과 같은 전자부...
  • 자력식 두께측정기 ^ Magnetic Thickness Tester 자력이 자성소지의 금속위에 비자성체의 피막 두께를 자성의 변화로 두께를 측정하는 방법 참고 [도금두께측정|도금두께 측...