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미크로미세가공 의 에칭비율 - 파트 2
Etch Rates for Micromachining Processing—Part II

등록 : 2014.09.25 ⋅ 10회 인용

출처 : na, na, 영어 18 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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분류 :
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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.09.20
사용되거나 잠재적으로 사용될 수 있거나 마이크로 전자기계 시스템 및 집적 회로의 제조에 사용되거나 잠재적으로 사용될수 있는 53개의 재료 샘플을 준비 하였다.
  • 염화물 전해액을 사용한 전해조건 즉 온도, 전류밀도 및 전해액의 유속의 변화에 따른 전착층의 조직특성(전착층의 조성, 현미경 조직 및 우선배향등)을 조사하고 각 전해조...
  • 황산 구리(동) 도금용 첨가제 ^ Copper plating Intermediate [황산구리도금|황산 구리(동) 도금] 액의 주요성분 황산구리와 황산 그리고 염소 (Cl-) 포리옥시에칠렌계 또는...
  • 비시안욕중 산성 염화아연 암모늄욕의 폐수는 암모니아의 함유로 종래의 아연 제거보다는 다소의 문제점이 있다. 이들의 문제점을 현장적으로 설명
  • 공기교반식의 광택니켈도금액을 사용하고 있습니다. 6개월 정도 운전후 2가철이 함유된것을 알았습니다. 이 철의 제거방법을 알고 싶습니다.
  • 수산화크롬 및 그외의 금속원소의 수산화물을 혼합함에 따라 단순한 소성실험을 하고, 슬러지중에 함유성분이 6가크롬 생성에 있어서 영향에 관하여 보다 기본적인 조사