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반도체 가공처리액의 조성분석
na

등록 2009.07.04 ⋅ 33회 인용

출처 有機分析化学研究部, NA, 일어 4 쪽

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半導体加工処理液の組成分析

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자료요약
카테고리 : 기술자료기타 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.18
CMP 슬러리의 성분분석에 대해 소개하고, 무기물이 많은 유기물 분석으로 더 난이도가 높은 구리 도금액의 조성분석에 주로 전처리법을 중심으로 소개한다.
  • 킬레이트, Chelate "라는 말은 그리스어 "Chele" 즉 "게가위" 에서 나온 것이다. 단지 화학분야는 분자내에 2개 이상의 관능기 (금속 이온과 결합할 수있는 기) 를 갖는 화...
  • 온도, pH 및 불소 함량과 같은 크로메이트욕의 매개 변수는 크롬산염 전환피막의 형태 및 화학적 조성에 큰 영향을 미치며 결과적으로 부식성능에 큰 영향을 미친다. 전...
  • 밀착력은 인접한 두재료 사이의 결합 (화학적 또는 물리적)을 말하며 완전한 분리를 수행하는 데 필요한 힘과 관련이 있다. 응집력은 둘사이가 아닌 둘중 하나 내에서 분리...
  • 수용성 알칼리 도금욕으로부터 아연의 전착을 개선하는데 특히 유용한 조성물이 기술된다. 새로운 조성물은 질소함유 헤테로 사이클릭 화합물과 하이드록시 아민의 반응 생...
  • [鍍金液管理 -2. 니켈鍍金(I)- ] 니켈도금은 도금의 주류다, 이론이나 기술설명에는 니켈의 경우를 예를 들어 설명한다. 사실 니켈도금은 도금기술의 중심체라 할수 있고, ...