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전해 도금액
NA

등록 2014.11.26 ⋅ 34회 인용

출처 일본특허, 2002-146585, 일어 6 쪽

분류 특허

자료 웹 조사자료

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.26
미세금속 회로를 형성하기 위한 전해 도금액으로 하지금속 용해에 의한 균열발생을 해소한 전해 도금액으로 환원제가 함유된 전해도금액 0.05 mol/L 황산구리 0.075 mol/L EDTA4H 1.0 mol/L 디크로로 초산 pH 11.5, pH 조정 TMAB, 작업온도 50 ℃
  • 고집적화에 따른 임팩트의 고밀도화, 고신뢰성화, 다기능화의 성능, 기능의 개량 개발과 저비용화, 단납기화, 자동화라는 기업 수준에서 의 프로세스 개량, 재료 개량 개발...
  • 질화처리 · Nitriding 소재 표면층에 질소를 확산 침투한다. 처리온도는 475~580 ℃. 처리전에 열처리와 기계가공을 한다. 소재별 적용 가스 질화는 질화강 (CrㆍMoㆍAl 등 ...
  • 초고속 광택레베링의 황산구리도금 광택제로 균일전착성도 우수하며, 내부응역이 낮고 액안정성이 우수하며 사용범위가 넓다.
  • 무전해구리도금공정을 사용하여 130~60 nm급의 trench 패턴내에 균일한 구리배선 도금을 수행하는데 있어서, 무전해도금과정에 용액내 구리이온의 물질전달 방식, ...
  • 유기형광안료를 분산제로 이용한 칼라-니켈도금방법에 관하여 그 제작조건과 도금피막의 색조, 특성에 관하여 설명