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검색글 Hideo HONMA 30건
전기구리 도금에 의한 초미세 패턴의 제작
Preparation of ultra fine pattern formation by electro copper plating

등록 2008.08.11 ⋅ 53회 인용

출처 표면기술, 49권 10호 1998년, 일본어 2 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.09
서브미크론의 미세배선 패턴의 전해구리 도금에 의한 스루홀 기술에 관하여 검토
  • 화학도금법에 의한 Ni-P-SiC계 및 Ni-P-TiC계 복합도금을 합성하고, 복합도금의 경도에 있어서 내마모성에 대한 분산입자의 종류, 입도, 공석량의 효과, 열처리변화에 관하...
  • 인산 용액에서 구리의 전해연마의 전기화학적 거동은 양극편광 및 전기화학적 임피던스 스펙트럼 테스트에 의해 연구되었다. 연구 결과는 인산 농도의 증가와 함께, 구...
  • 수소분석에 있어서 다른 원소의 방해를 받으나 정량성이 우수한 한발 γ선 방사화분석법을 이용하여 피막중의 수소 정량을 하고, 열중량측정/시차열분석법과 합하여 수분량에...
  • 철-탄소 Fe-C 합금막의 경도와 구조에 관하여 경도측정 X선회절 투과형 전자현미경 관찰, 광전자분광 분석을 이용하여 연구한 결과를 보고하고, 공업적으로 이용하고 있는 F...
  • EMC의 중요성 ♦ 전자파 적합성(EMC)을 사용하려면 시스템 / 장비가 지정된 수준의 간섭을 견딜수 있어야하며 지정된 수준 이상의 간섭을 생성하지 않아야한다. ♦ 오늘날 EMC...