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복합 무전해 도금법에 의한 신규 자성저립의 제작과 그 포스트 CMP 기술에의 응용
Development of New Magnetic Abrasives by using Electroless Composite Coatings and Its Application to the post CMP Technology

등록 2015.03.24 ⋅ 16회 인용

출처 표면기술, 56권 6호 2007년, 일어 5 쪽

분류 연구

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저자

기타

複合無電解めっき法による新規磁性砥粒の作製とそのポストCMP技術への応用

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.11.16
CMP 를 대체하는 새로운 기술로서 자기연마법에 착안하여, 이를 이용한 새로운 자성연마의 개발을 목적으로한 실험

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