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패턴화된 산화탄탈륨 박막에 대한 구리회로의 선택적 전기도금
Selective electroplating of copper lines on pre-patterned tantalum oxide thin films

등록 2015.06.19 ⋅ 32회 인용

출처 Applied Surface Science, 253권 2007년, 영어 8 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.12
반도체에 대한 직접 선택적 금속도금은 특히 인터커넥트 및 쇼트키 장치에 대한 전자장치 기술에 관점을 가지고 있다.이 연구에서는 패턴화된 탄탈룸 산화물 박막에 대한 선택적 구리도금을 조사하였다. 순환 전압전류법 연구에 따르면 두꺼운 산화탄탈 박막은 절연 특성이 있는 반면 임계 값보다 얇은 산화막은 반도체이다....
  • 유기산을 주제로한 자연발색용 전해액에 주로 쓰여온 황산촉매 대신에 이 황산의 역할에 대응할 수 있다고 생각되는 가성소다를 첨가하여 알루미늄을 발색시키는 방법을 개발
  • SUS 304ㆍ316의 구별법 ^ 시약에 의한 Mo 구별법 Stainless Steel 304 SS (18Cr-8Ni) 와 316 SS (17Cr-12Ni-2.5Mo) 를 구별 할 수 있는 방법은 성분 조성에서 차이를 갖는 M...
  • 무전해 니켈도금을 위한 촉매부위로서 팔라듐 핵이 형성되고 수행되었으며, 충분한 접착 강도를 갖는 도금 vlakr이 얻어 졌다는 것이 확인되었다.
  • 착화제로 티오말산(TMA)과 환원제로 2-아미노에탄티올(AET)을 사용하여 비시안화 무전해 금도금을 다양한 방법을 조사했다. TMA가 금에 대한 우수한 착화제인 것으로 밝혀졌...
  • IZE
    IZE [Lugalvan] IZE는 독일 BASF 사의 [이미다졸|이미다졸 (Imidazole)] 과 [에피클로로히드린|에피클로로히드린 (Epichlorohydrine)] 의 축합 생성물로 전기도금의 광택제 ...