높은 종횡비 (직경 3 μm, 깊이 50 μm) 로 Si 관통 비아 (TSV) 의 구리충진을 가능하게 하기 위해 코발트 라이너 재료에 구리시드의 무전해도금을 조사하였다. 환원제인 글리옥실산은 포름알데하이드의 경우 나타나지 않는 코발트에 양극산화를 나타냈다. 전기화학적 분석에서 최적화된 도금욕 조성은 무전해구리...
페놀설폰산 ^ Phenol Sulfonic Acid ^ 4-hydroxybenzensulfonic acid CAS 98-67-9 C6H6O4S = 174.17 g/㏖ (C 41.38%, H 3.47%, O 36.74%, S 18.41%) [주석첨가제] 참고 [PSA...