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저농도 설파민산욕에서의 니켈도금 피막의 특성과 MEMS에의 응용
Properties of Electroplated Nickel Film from Low Concentration Sulfamate Baths and Its Application to MEMS

등록 2016.03.18 ⋅ 47회 인용

출처 일렉트로닉스실장학회지, 14권 1호 2011년, 일어 8 쪽

분류 연구

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기타

低濃度スルファミン酸浴からのニッケルめっき皮膜の特性とMEMSへの応用

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.02.17
도체장치 및 MEMS 용 센서는 니켈도금이 많이 이용되고 낮은 응력과 고경도 피막이 요구된다. 이에 적합한 니켈도금은 낮은 내부응력 높은 인장력을 갖는 설파민산니켈도금욕이다. 설파민산 니켈욕을 기본으로 하고, 전류밀도, 욕 pH, 온도, 금속염 농도를 변화시켜 도금피막 물성에 미치는 영향을 조사했다. 그...
  • EDX 기능을 가진 투과형전자현미경을 이용하여, Ni-Sn 전착물의 특정미소부에 있어서 조성분석을 함에 따라, 원자비로 1:1의 조성인 전석물상의 동정을 실험
  • 최근 전자기기의 소형화·경량화·고기능화·저비용 화에 대응한 플라스틱 패키지 기판으로, 코어 기판을 필요로 하지 않는 얇은 패키지기판 및 서버 라우터 등의 더욱 고밀도...
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  • 인산염피막 ^ Phosphating Treatment 인산염처리 피막은 철강 금속 방청에 관한 것으로 1869년 G. Rors 가 제출한 최초의 특허 공업적으로 실용 가능한 처리액은 1906년 영...
  • 복합 도금은 금속 도금막 중에 기능성 미립자를 분산시킴으로써 금속 혼자 얻을수 없는 도금 막의 특성을 얻을 표면 처리 방법이며, 많은 분야에서 실용화가 진행되고 있다....