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페록소 이황산암모늄 용액을 사용한 구리의 에칭 그레이드에 결정구조가 끼치는 영향
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등록 2012.11.07 ⋅ 44회 인용

출처 표면실장기술, 11호 2011년, 한글 9 쪽

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카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.02.17
1 mol/dm3 의 페록소 이황산 암모늄을 사용한 에칭 그레이드의 결정구조에 미치는 영향을 SPM, EBSD, 부식전위 측정 방법을 이용해 분석했다. 그 결과, 페록소 이황산 암모늄에서 구리의 에칭 그레이드는 결정 배향성에 의존하므로 (001), (101), (111) 면의 저지수면은 낮고 (327) 면과 (425) 면의 고지수면은 높은 것으로 ...
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