반도체 패키지 기판용 무전해 Ni/Pd/Au 도금기술 (제1보) -납땜볼 접속 신뢰성에 있어서 무전해 Ni도금 두께의 영향-
Electroless Ni/Pd/Au Plating for Semiconductor Pakager Substrate(1) Imfluence of the Electroless Ni Plating Thickness on the SOlder Ball Joint Reliability-
금 Au 와이어 본딩 가능한 니켈-팔라듐-금 Ni/Pd/Au 무전해도금을 반도체 실장용 기판에 적용하여 기존의 전해 Ni/Au 방법과 동등한 납땜볼 연결부의 내충격성을 유지하였다. 이 기술을 20 μm 보다 좁은 배선간격을 가진 차세대 기판에 적용하기 위해 고속납땜 시험법을 이용하여 내충격성을 확보할수 있는 [[무해니켈도...