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구리 도금액의 여과
Filtration of Copper Plating Solutions

등록 : 2008.09.24 ⋅ 42회 인용

출처 : Millipore, MAL102, 영어 7 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.02.26
구리는 도금액에서 전착을 통해 웨이퍼 표면에 적용될수 있다. 구리도금 전해질은 일반적으로 황산(10 % -20 %)과 황산구리 (<10 %)로 구성된다. 균일한 도금을 보장하고 도금에 원하는 특성을 부여하기 위해 계면활성제 및 기타 유기분자가 첨가된다. 전해질은 일반적으로 35 ℃ 이하에서 작동한다. 친수성 UPE 필터 (Guardi...
  • 설파민산욕으로부터의 Ni 도금 피막의 저사이클 피로 특성에 미치는 S공석의 영향을, 저 사이클 피로 시험 및 피로 파면의 상세한 관찰에 의해 조사하였다. 또한 정적 인장 ...
  • 고경질 물질인 다이야몬드를 복합도금으로 크롬산 도금피막의 내마모성의 향상을 목적으로, 크롬-다이야몬드 복합피막의 제작하고, 그 피막의 내마모성에 관하여 검토
  • PA
    PA · Propagyl Alcohol HC≡CCH2OH = 56.1 g/㏖ CAS : 107-19-7 무색~황색의 액상 ㏗ : 4~6 밀도 : 0.93~0.95 순도 : 99 % 용도 : [니켈도금] 광택 레베링제ㆍ산부식억제제 ...
  • 염화니켈 · Nickel Chloride ^ Nickel(II) chloride hexahydrate NiCl2·6H2O = 237.69 g/㏖ CAS 7791-20-0 물에 대하여 2540 g/l 용해 (20 ℃) 청록색의 분말로 조해성이 있...
  • 2012년 12월 아베 정권이 성립하고 일본이 장기간 마이너스 성장이었다, 이 20년에 경제 중점 화에 의한 아베 노믹스 정책이 새로운 경기 자극과 주가의 부활 예감을 불러 ...