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불용성 아노드를 이용한 황산구리 도금욕의 검토
Using for Non-soluble anode of Acid copper plating

등록 2008.10.31 ⋅ 79회 인용

출처 na, na, 일본어 2 쪽

분류 연구

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저자

기타

不溶性アノードを用いた硫酸銅めっき浴の検討

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.11.19
가용성 양극의 결점을 보충하고, 불용성양극를 사용하기 위한 실용성을 검토하고, 첨가제의 분석에 관한 실험 보고
  • ULSI 구리 미세배선의 형성은 실리콘 웨이퍼 표면의 구리 시드층에 구리 석출 억제물 및 스루홀이나 트렌치 내부에 구리 석출 촉진제를 첨가 한 산성 황산구리욕을 사용한다...
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