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전해도금 구리박막의 두께가 탄성계수에 미치는 영향
The Effect of Film Thickness on the Elastic Modulus of Electroplated Cu Thin Films

등록 2009.01.09 ⋅ 81회 인용

출처 대한금속재료학회지, 44권 10호 2006년, 한글 6 쪽

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.02.26
전해도금 구리박막의 두께에 따른 탄성계수를 나노 인텐테이션과 켄틸레버 빔 굽힘 시험을 통해 측정하고, 미세 인덴테이션 및 미세굽힘 시험용 시편은 전해도금 공정과 실리콘 미세 식각 공정을 통해 제작하고, 박막의 두게와 변화에 따른 집합 조직을 측정하여 탄성계수를 이론적으로 계산하였고, 이를 측정 값과 비교 분...