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직각 펄스를 이용한 Cu 전기도금에서 주파수가 도금층 특성에 미치는 영향
Effect of Frequency on Properties of Film in Cu Electroplating using Square Pulse Current

등록 : 2009.01.09 ⋅ 63회 인용

출처 : 대한금속재료학회지, 40권 12호 2002년, 한글 6 페이지

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2014.12.18
도금과정에서 물리적 구동력을 더욱 증가시키기 위해 고주파 펄스를 구리도금에 적용하고, 고주파 펄스가 구리도금 효율 및 도금층 물성에 미치는 영향을 규명

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