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LIGA 방법을 이용한 미세전주스프링에 관한 연구
Research on Electroformed Micro-Spring with LIGA Process

등록 2009.07.10 ⋅ 43회 인용

출처 Ricoh Technical Report, 33호 2007, 일어 7 쪽

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기타

LIGAプロセスを用いた微細電鋳スプリングに関する研究

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.09
LIGA 방법을 이용하여 선폭 20~40 μm, 높이 220 μm (아스펙비 최대 10) 의 금속제 마이크로 스프링 제작에 관한 연구
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