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구리 다마신 전착의 가속화 효과 -2 R.R.D.E 관찰
Acceleration Effect of Copper Damascene Electrodeposition - 2.Monitoring by R.R.D.E-

등록 2009.07.11 ⋅ 64회 인용

출처 Electrochemical Society, 206th Meeting 2004년, 영어 1 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.11
충진 (via-filling) 을 성공적으로 수행하려면 첨가제룰 조합하여 사용해야 한다. 폴리에틸렌글리콜 (PEG), 염화물 이온 (Cl-), 비스 (3- 설포 프로필) 디설파이드 (SPS) 및 야누스 그린 B (JGB), PEG 및 Cl- 첨가제는 억제 효과를 생성하는 반면 SPS 는 가속 효과를 하였다. Josell 등 은 슈퍼 컨포멀 필링에 대한 가속 모...

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