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황산-과산화수소계 수용액의 불순물첨가에 의한 에칭과정의 영향평가
Evaluation of Influence on Etching Process of Sulfuric Acid-Hydrogen Peroxide Aqueous Solution by Impurity Addition

등 록 2020.06.09 ⋅ 33회 인용

출 처 표면기술, 70권 12호 2019년, 일어 2 쪽

분 류 연구

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저 자

기 타 硫酸－過酸化水素系水溶液の不純物添加によるエッチング過程への影響評価

자 료

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2020.06.09
불순물의 첨가에의한 에칭액 수명에 영향을 확인하여, 최고로 영향이 큰 염화물이온, 철이온의 불순물로서 외관의 영향을 검토
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