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전기도금으로 만든 니켈-인 합금도금막의 왜곡과 인함유량의 관계
Rlation between phosphrus content and strain of electroplated Nickel-Phosphorus alloy films

등록 : 2010.01.25 ⋅ 22회 인용

출처 : 표면기술, 45권 6호 1994년, 일어 2 쪽

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電気めっきで得られたニッケル―リン合金めっき膜のひずみとリン含有量の関

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.07.27
전기도금으로 만든 니켈-인 합금막의 평균 잔류왜곡에 있어서 전류밀도 욕 pH 영향에 관하여 조사하고, 도금선별과 막내 인함유량 및 그 결정구조에 관한 연구
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  • 본 발명은 도금속도를 제어할수 있고 반도체 특성에 크게 영향을 미치지 않고 작업자의 건강에 문제가되지 않는 무전해 도금액 및 무전해 도금 공정에 따른 배선 형성 방법...
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