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전류효율을 개선한 설파민산 욕에서의 니켈-인 합금의 전착
Electrodeposition of Nickel-Phosphorus Alloy from Sulfamate Baths with Improved Current Efficiency

등록 : 2011.06.10 ⋅ 40회 인용

출처 : Electrochemical Society, 153권 6호 2006년, 영어 6 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

C. S. Lin1) C. Y. Lee2) F.J. Chen3) C.T. Chien4) P.L. Lin⁵) W.C. Chung⁶)

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.08.11
니켈-인 Ni-P 도금을 펄스전류를 사용하여 인산이 포함된 니켈설파메이트 욕에서 전기도금하였으며, 펄스전류의 전류밀도, 듀티사이클 및 주파수의 영향을 조사했다. 실험결과는 낮은 듀티사이클에서 우선적으로 펄스전류를 사용함으로써 인함량과 전류효율이 실질적으로 향상되었음을 보여주었다. 인함량 및 전류효율에 대...
  • 90 nm 제조 노드이하에서 구리공정 변수를 충분히 이해하여 구리도금을 허용하고 기술을 활성화 하였다. 구리도금의 핵심 문제에는 트렌치/비아 프로파일 및 종횡비 제...
  • 반도체 재료로서의 갈륨-비소 GaAs 합금박막을 전해석출법으로 형성할 목적으로, 전단계인 갈륨의 석출과 그 전기화학적 특성에 관하여 검토하고, 산성 또는 알칼리욕에서 ...
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  • 황산염욕과 염화물욕의 2~5배의 고전류밀도를 채용하여, 양호한 전도성과 pH 완충성을 가지 붕불화욕을 이용하여 레니움 Re의 전석과정을 검토
  • 전자 응용분야를 위한 전해 및 무전해금 Au 도금에 대한 최근 선택된 주제에 대한 리뷰가 제공된다. 다루는 주제에는 실리콘 웨이퍼에 마이크로 범프를 제조하는데 적합한 ...