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구리전착의 다마신 공정에 있어서 첨가제의 열화에 대한 양극의 영향
Influence of the Anode on the Degradation of the Additives in the Damascene Process for Copper Deposition

등록 2011.07.29 ⋅ 58회 인용

출처 Electrochemical Society, 154권 3호 2007년, 영어 7 쪽

분류 연구

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저자

C. Gabrielli1) P. Mocoteguy2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto-Sanz5)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.08
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