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습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 / 구리-아연 합금 → 황동)을 사용하였습니다. 2개 이상의 합금...
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구리전착의 다마신 공정에 있어서 첨가제의 열화에 대한 양극의 영향
다마신 공정에서 구리도금 의 동역학 및 형태에 대한 용해성 및 불용성양극의 영향을 전압전류법 및 임피던스기술로 조사 하였다. 마이크로 전자산업에서 트렌치와 비아의 등각 수퍼필링을 제공하는 것으로 알려진 도금액이 사용되었다. 유리질 탄소양극을 사용하면 도금액이 더 빨리 분해...
구리/합금
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Electrochemical Society · 154권 3호 2007년 · C. Gabrielli ·
P. Mocoteguy
외 ..
참조 58회
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구리 다마신 공정 화학으로 만든 박막 전착 피막에 대한 전기 음향 측정
다마신 전기도금 공정은 고성능 구리 인터커넥트를 실현하기 위해 마이크로 전자 기술에 주로 사용된다. 그러나 초등각 전착 측면에서 전착물의 품질은 잘 관리되지 않는다. 보이드가 없는 전착물을 얻으려면 수퍼필링 이라고도하는 초등각 전착이 필요하다. 초등각 전착은 입구보다 캐비티 바...
구리/합금
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Electrochemical and Solid-State Letters · 7권 4호 2004년 · C. Gabrielli ·
P. Mocoteguy
외 ..
참조 53회
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새로운 임피던스 방법에 의한 구리도금욕의 관찰방법
EIS (Electrochemical-impedance spectroscopy) 측정은 도금조 조건의 변화를 특성화하기 위해 구리금속화 중에 구리 상호연결 도금조에서 수행되었다. 여러 공정 도금조 실험의 결과는 임피던스 스캔의 모양이 도금조의 화학 정상 상태 변화에 민감하고 전체 도금액품질의 지표가 될수 있음을 나타 냈...
구리/합금
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NA · NA · Alan Zduneka ·
Delia Nieto Sanzb
참조 62회
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좁은 트렌치를 채우는 것으로 알려진 도금조의 구리 전착을 회전 디스크 전극, 임피던스 측정으로 연구 하였다. 이 액의 화학에는 황산, 황산구리 및 염화물 이온, 억제제로서 폴리에틸렌글리콜 (PEG) 및 촉진제로서 3-메르캅토 -1-프로판설폰산, 나트륨염 (MPSA) 이 포함되었다. 실험결과 이러한 유기...
구리/합금
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Electrochimica Acta · 51권 2006년 · C. Gabrielli ·
P. Mocoteguy
외 ..
참조 60회
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다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되고 전기화학적 임피던스 측면에서 분석 된다. 실험 임피던스 결과는 염화물, PEG 및 MPSA를 포함하는 황산구리-황산욕및 산업용 구리 상호연결에 대한 이론과 비교 된다. 제안된 모델과 좋은 일치가 발견되었다.
구리/합금
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NA · NA · C. Gabrielli ·
J. Kittel
외 ..
참조 43회
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다마신 공정에서 구리석출의 모델 - 도금욕의 에이징 응용
구리 가속기 복합체의 존재뿐만 아니라 억제제와 가속기의 경쟁적 흡착을 고려한 다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되었다. 이 모델은 수퍼필링 구리도금조의 새로운 용액에 대한 전기화학 임피던스 분광법 및 DC 전압 류측정을 통해 실험적으로 검증 되었다. 이 논문에서, 동일한 모델...
구리/합금
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Electrochemical Society · 154권 1호 2007년 · C. Gabrielli ·
P. Moçotéguy
외 ..
참조 55회
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폴리에틸렌글리콜과 염화물 이온 첨가유무에 있어서 구리 전기 전착
원하는 전착을 달성하기 위한 접근방식은 화학 첨가제 혼합물을 전기도금 액에 통합하는 것이다. 첨가제가 작동하는 메커니즘을 탐구하기 위해 많은 모델링 및 실험연구가 수행되었다. 그러나 이러한 메커니즘에 대한 세부사항은 완전하게 이해되지 않았다. 이 연구의 일부는 전압전류법 및 다단계 전압...
구리/합금
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University Waterloo · 2007년 · Maria Eugenia Huerta Garrido ·
참조 71회
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산성 황산구리 도금액에 있어서 광택제의 전기 화학 관리
산성 황산구리 도금욕에서 광택제 첨가제의 유효 농도를 간접적으로 측정하는 전기화학적 방법이 평가되었다. 절차는 작업전극에서 구리 도금을 제거하는데 필요한 전하를 측정하여 질량 수송, 시간, 온도 및 전위의 신중하게 제어된 조건하에서 백금작업 전극에 구리의 전착을 사용했다. 주어진 첨가제...
구리/합금
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Kansa State University · 1990년 11월 · M.J.Bronson ·
M. Dale Hawley
참조 71회
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탄소 활성화에 대한 전기 구리 도금욕에 있어서 폴리에틸렌 글리콜의 흡수 평형
폴리에틸렌 글리콜 (PEG) 은 금속성형, 화장품, 식품 및 연마와 같은 많은 산업에 널리 적용 된다. 중성 계면활성제이며 구리 전기도금 용액에서 광택 첨가제로 사용될수 있다. 활성탄은 전기 도금용액에서 유기불순물을 성공적으로 제거하고 수용액의 특정 필수성분을 효과적으로 제거하기 위해 사용되...
구리/합금
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Colloid and Interface Science · 232권 2000년 · N/A ·
참조 134회
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Cu electroplating 후 annealing처리가 Cu 막에 미치는 효과
전기도금 기술이란 도금하고자 하는 금속이온이 존재하는 수용액 중에 wafer를 담가 전기화학적으로 Cu를 도금하는 방법(electrochemically deposited)을 말한다. 즉 수용액 중에 wafer를 담그면서 도금하는 방법으로 전원과 수용액을 연결할수 있도록 conformal한 전도막(seed layer)을 필요로 한다. ...
구리/합금
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인하대학교 · 2004년 2월 · 권덕율 ·
참조 248회
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