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전기화학 임피던스 분광학을 이용한 구리욕 모니터링
Enhanced copper bath monitoring using electrochemical impedance spectroscopy

등록 : 2011.07.29 ⋅ 32회 인용

출처 : Adva. Elec. Manu.Technology, DEc 2004년, 영어 4 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

A. Zdunek1) D.N. Sanz2) C. Gabriell3) P. Mocoteguy4) H. Perrot5) C. Mace6) A. Quennoy7) E. Chabal8)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.10.15
도금된 구리의 품질을 더잘 보장하기 위해 구리전기도금조에 사용되는 화학물질의 구성과 노화를 모니터링하는 방법이 필요 하다. 웨이퍼 팹의 구리 인터커넥트 도금조에서 전기화학적 임피던스 분광법 측정을 사용하여 해당조의 상태 변화를 특성화했다. 이 방법은 다른 도금 화학을 사용하는 도구를 명확하게 구별할수...
  • 단속전해로 석출된 입형금속크롬을 전자현미경으로 직접투과관찰하고, 그 결정학적 특징을 조사하고, 다시 입형금속크롬이 생성되는 하지조건을 조사하여 생성기구를 검토한...
  • 수용액에 구리이온, 수산기 라디칼, 구리이온용 착화제, 포름알데하이드 및 포름알데하이드 첨가제를 포함하는 무전해 구리도금 용액, 여기서 하이드록실 라디칼에 대한 구...
  • 걸이 지그의 기능을 충분히 발휘하기 위해서는, 도금조 내의 구조와 양극배치를 연구할 필요가 있다.
  • 평가에 사용된 구연산 용액은 철입자 오염을 제거하고 단조 스테인리스강 합금을 부동태화를 위해 AMS-QQ-P-35에 지정된 유형 II 및 VII 질산 용액보다 우수하다.
  • 양(쪽)성이온 계면활성제 ^ Amphoteric Surfactant [계면활성제]가 ㏗ 등에 따라 양(+) 또는 음(-)의 전하를 가지는 계면활성제로, 친수기가 양이온과 음이온으로 해리되는 ...