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검색글 P. Mocoteguy 1건

습식도금 자료분류

자료수 11096 건

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전기화학 임피던스 분광학을 이용한 구리욕 모니터링
Enhanced copper bath monitoring using electrochemical impedance spectroscopy

등록 2011.07.29 ⋅ 52회 인용

출처 Adva. Elec. Manu.Technology, DEc 2004년, 영어 4 쪽

분류 해설

자료 있음(다운로드불가)

저자

A. Zdunek1) D.N. Sanz2) C. Gabriell3) P. Mocoteguy4) H. Perrot5) C. Mace6) A. Quennoy7) E. Chabal8)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.10.15
도금된 구리의 품질을 더잘 보장하기 위해 구리전기도금조에 사용되는 화학물질의 구성과 노화를 모니터링하는 방법이 필요 하다. 웨이퍼 팹의 구리 인터커넥트 도금조에서 전기화학적 임피던스 분광법 측정을 사용하여 해당조의 상태 변화를 특성화했다. 이 방법은 다른 도금 화학을 사용하는 도구를 명확하게 구별할수...
  • 환원제용액에 의한 구리 패턴을 선택적으로 활성화함에 따라, 선택석출성이 우수한 무전해니켈 미세 패턴의 형성 가능성에 관하여 검토
  • 산업의 정의 섬유는 가늘고 긴 형태적 특징을 갖는 소재 또는 제품을 총칭하며, 제조업으로서의 섬유산업은 천연 원료 또는 화학 원료로부터 가늘고 긴 형태를 갖는 섬유를 ...
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  • 개선된 구리도금욕 및 방법은 하나 이상의 에피 할로 히드린을 치환된 피리딘, 퀴놀린, 이소 퀴놀린 또는 벤즈이미다졸 일수 있는 하나 이상의 질소 함유 화합물과 반응시켜...
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