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Cu-Cr 합금 박막의 구리 전기도금을 위한 전처리 및 에칭 특성에 관한 연구
Pretreatment for Cu electroplating and etching property

등록 2008.09.03 ⋅ 91회 인용

출처 한국표면공학회지, 25권 3호 1993년, 한글 9 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2014.07.30
스퍼터 증착법으로 제조한 Cu-Cr합금 박막위에 향상된 접착력을 갖는 Cu 전기도금을 위한 전처리 방법과 Cr양의 증가에 따른 에칭특성의 변화를 연구, 에칭용액의 최적 조성과 온도를 얻기위한 기초연구
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