도금 첨가제 제조 원료약품 - 화학 기계 연마

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화학 기계 연마

Chemcial mechanical polishing technology for silicon wafer

등록 2008.09.03 ⋅ 53회 인용

출처 표면기술, 49권 9호 1998년, 일본어 5 쪽

분류 해설

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저자

Hisashi MASUMURA¹⁾

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분류 화학연마 ⋅ 실리콘웨이퍼 ⋅

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자료요약

카테고리 : 연마/연삭 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.12.28

최근의 일렉트로닉스 단결정재료의 주역인 실리콘웨이퍼의 화학적 기계연마 기술과 요구되는 품질에 관하여 간단한 소개와 현황의 기술적과제에 관하여 설명

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