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포토리소그라피 (2) 에칭기술
Photolithography -etching-

등록 : 2008.09.24 ⋅ 39회 인용

출처 : 표면기술, 46권 9호 1995년, 일본어 5 페이지

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.01.12
포토마스크의 패턴의 가공에 있어서 에칭기술을 소개
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  • 전기도금 방법으로 제작된 니켈과 니켈-구리 합금박막에 미치는 유기첨가제 (organic additive) 의 영향을 조사하였다
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  • 은은 미려한 외관광택과 함께 모든 금속 중에서도 최고의 전기 및 열 전도율을 갖는다. 은 도금은 기존 장식용으로부터 최근 디지털, 전기전 자, 반도체 첨단기능부품으로 ...