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검색글 Kazuo TAMURA 1건
인산에 의한 구리의 전해연마에 있어서 구리이온의 영향
The effects of copper ion on the electropolishing of copper in phosphoric acid

등록 2010.01.27 ⋅ 82회 인용

출처 표면기술, 47권 11호 1996년, 일어 2 쪽

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자료요약
카테고리 : 연마/연삭 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.12.28
전해연마시의 전류-전위 곡선의 측정, 주사형전자 현미경 (SEM) 에 의한 연마표면의 관찰 및 오제전자 분광법에 의한 연마면의 내면방향의 원소분석을 하고, 인산에 의한 강의 전해연마에 있어서 구리이온의 영향을 조사
  • 반도체 제조공정에서 첨단 소자 설계채택과 구리/저유전절연막의 통합이 진행되면서 호환가능한 새로운 세정화학액의 필요
  • 금속의 무전해도금은 마이크로 및 나노기술에서 많은 응용분야를 가지고 있다. 현재 무전해 구리 Cu, 코발트 Co, 니켈 Ni, 은 Ag 및 그 합금은 ULSI (초대 규모 통합) ...
  • 지구환경보전에 관심으로 폐수처리규제강화등의 대책이 도금처리업계도 예외는 아니다. 환경부하경감을 목적으로 새로운 수지도금방법에 관한 개발
  • 본질적으로 광택면을 도금할수 있는 니켈도금액의 도입은 그 이후로 이전의 일반적인 도금후 연마 및 '색상'작업이 거의 필수적인 것이 아니었기 때문에 주요 혁신이었다. ...
  • 시안화물 기반의 구리, 아연 및 카드뮴 도금공정에 시안화물 기반이 아닌 대안을 사용할수 있다. 이러한 대체 프로세스는 규제 및 보고 요구사항을 줄이고, 근로자에 대한 ...