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PZT 박막의 화학.기계적 연마 특성
chemical mechanical polishing characteristic of PZT thin films

등록 2008.09.24 ⋅ 80회 인용

출처 대한전기학회논문지, 55권 12호 2006년, 한글 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 연마/연삭 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.08.24
PZT 막에대해 처음으로 CMP 공정을 적용하여 실리카와 세리아와 같은 슬러리 연마제의 종류 및 pH의 변화에 따른 PZT 박막의 연마 특성을 고찰
  • 금속질감의 손상없이 다양한 색조의 마무리를 위한 염색법과 그 내광성에 관하여 설명하고, 알루미늄의 염색법의 다공질의 양극산호피막을 이용하는 방법에서부터 양극산화...
  • 국내 휴대폰 제조업체는 기존의 중국시장 의존도를 줄이면서 중동과 동남아등 신규 수출시장 개척에 주력하고 있으며, 고급기종 휴대폰을 중심으로 미국, 유럽선진국으로의 ...
  • 실리콘카바이드를 공서익자로한 내마모성 무전해니켈복합도금을 예로 내마모성, 습동특성등, 그 성능과 특징을 중심으로 설명한다.
  • 전주도금 · Electroforming 모형 (멘드렐ㆍ마스터 등..) 의 표면에 두꺼운 도금을 하여, 이것을 모재에서 박리하여 모형과는 거꾸로된 凹凸 면의 제품을 만들거나, 만든 모...
  • 균일전착성 · Throwing Power 제품의 형태가 일정치 않아도, 도금되는 두께가 전류밀도 차이 없이 균일하게 되는 도금의 능력을 말한다.(均一電着性) 각종 구리도금액의 균...