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PZT 박막의 화학.기계적 연마 특성
chemical mechanical polishing characteristic of PZT thin films

등록 2008.09.24 ⋅ 72회 인용

출처 대한전기학회논문지, 55권 12호 2006년, 한글 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 연마/연삭 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.08.24
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