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PZT 박막의 화학.기계적 연마 특성
chemical mechanical polishing characteristic of PZT thin films

등록 : 2008.09.24 ⋅ 54회 인용

출처 : 대한전기학회논문지, 55권 12호 2006년, 한글 6 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 연마/연삭 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.08.24
PZT 막에대해 처음으로 CMP 공정을 적용하여 실리카와 세리아와 같은 슬러리 연마제의 종류 및 pH의 변화에 따른 PZT 박막의 연마 특성을 고찰