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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2021.11.17
반도체 제조 공정의 세정 용도용으로 개발된 전해 황산 기술을 크롬 프리 에칭 처리 공정으로서 적용을 시도하였다. 전해 황산이란 고농도의 황산을 전기분해하여 퍼옥소이황산이나 퍼옥소일황산과 같은 강산화성 물질을 함유시킨 용액이다. 전해 황산 기술의 개요와 이를 이용한 ABS 수지의 에칭 효과 및 도금 처리의 결과...