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산성 구리 도금욕에 있어서 억제 첨가제의 측정
Determination of the suppressor additive in acid copper plating bath

등 록 2022.01.08 ⋅ 54회 인용

출 처 Thermo Scientific, Application Note 145, 영어 4 쪽

분 류 연구

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.02.09
구리 전기도금 시스템은 반도체 웨이퍼에 구리를 전착하는 데 사용된다. 산성 구리 도금의 주요한 욕구성 요소는 황산구리, 황산, 염화물 이다. 독점적인 억제 첨가제가 구리 전착 품질에 영향을 미치는 데 사용된다. CVS (Cyclic voltammetric stripping) 는 도금 품질에 대한 첨가제와 부산물의 결합된 영향을 측정하...

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