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검색글 N.T.M. Hai 1건
다마신 전기도금과 관련된 구리 표면의 경쟁적인 음이온/음이온 상호작용
Competitive anion/anion interactions on copper surfaces relevant for Damascene electroplating

등록 2022.02.16 ⋅ 49회 인용

출처 Electrochimica Acta, 70권 2012년, 영어 10 쪽

분류 연구

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저자

N.T.M. Hai1) T.T.M. Huynh2) A. Fluegel3) M. Arnold4) D. Mayer5) W. Reckien6) T. Bredow7) P. Broekmann8)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.02.16
Cu(100)/전해질 모델 인터페이스에서 염화물과 SPS (비스-(나트륨-설포프로필)-디설파이드) 의 상호 경쟁 작용은 현장 STM 및 DFT 와 함께 순환 전압 전류법으로 연구하였다. 이 특정 음이온/음이온 상호작용은 첨단 온칩 금속화에 사용되는 산업용 Cu 다마신 공정의 맥락에서 서프레서 앙상블 비활성화에 가장 중요하다. 표...
  • 봉공처리 · Sealing [양극산화]의 총칭을 알루마이트라 하지만, 당시에는 가압 증기에서 봉공처리를 행한 것을 [알루마이트] 라고 하였다. [양극산화피막|양극산화 피막]의 ...
  • 아연-니켈-카드뮴 Zn-Ni-Cd 합금은 전위차 조건하에서 알칼리 전해조에서 전착되었다. pH 농도 다이어그램을 사용한 액분석은 도금액 안정성을 유지하기 위해 착화제의 첨가...
  • 다마신 공정에 사용된 기존의 첨가제 염화물 이온 sCl-, 폴리 (에틸렌글리콜) (PEG), 비스 (3- 설포프로필) 디설파이드 (SPS) 및 야누스 그린 B (JGB) 의 충진효과 전착구리...
  • 흑염방법은 따로 알칼리 착색법 이라고도 하며 농후한 알칼리 용액에서 화학적으로 철강표면에 산화피막 (산화철) 을 만드는 방법으로서, 이 피막은 흑색을 띠어 일반적으로...
  • 전해 니켈의 물리적 특성은 무기금속 및 유기오염 물질의 축적에 의해 영향을 받는다. 따라서 신 도금조를 설치하고 생산 솔루션의 바람직한 특성을 유지하기 위해 다음과 ...